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光學微透鏡工藝

光刻技術

  • 允許將多種形狀的光學元件連接到一個表面(六邊形,正方形,圓柱,圓形或不規則微透鏡),包括球面和非球面,凹面和凸面並可以與變形材料一起使用 (BK7, fused silica, glass)
  • 可以是非對稱形狀
  • 支援晶圓級,處理4×4“尺寸的晶圓並將其切成單獨的MLA尺寸,還設計了單片2面微透鏡陣列。
  • 可以用6×6”晶圓以實現大批量生產

鐳射直寫

  • 高光學深度的任意自由成形工藝
  • 允許將多種形狀的光學元件連接到一個表面
  • 非對稱形狀
  • 極低的粗糙度 (Ra<1nm, 10um spatial period)
  • 極低散射 = 高效率
  • 保持熔融石英高的鐳射誘導損傷閾值(LIDT,Laser induced damage threshold)