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光学微透镜工艺

客制化透镜

光刻技术

  • 允许将多种形状的光学组件连接到一个表面(六边形,正方形,圆柱,圆形或不规则微透镜),包括球面和非球面,凹面和凸面并可以与变形材料一起使用 (BK7, fused silica, glass)
  • 可以是非对称形状
  • 支持晶圆级,处理4×4“尺寸的晶圆并将其切成单独的MLA尺寸,还设计了单片2面微透镜数组。
  • 可以用6×6”晶圆以实现大批量生产

激光直写

  • 高光学深度的任意自由成形工艺
  • 允许将多种形状的光学组件连接到一个表面
  • 非对称形状
  • 极低的粗糙度 (Ra<1nm, 10um spatial period)
  • 极低散射 = 高效率
  • 保持熔融石英高的激光诱导损伤阈值(LIDT,Laser induced damage threshold)